Verfahren zum Herstellen eines Reflektionsgitters für Mikrospektrometer

Dr. Schubert, Hr. Bohn

Kurzbeschreibung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen selbstfokussierender Reflexionsgitter für die Serienfertigung von Mikrospektrometern, in Gestalt von flexiblen, die Gitterstruktur tragenden Folienstreifen, die mit Stützstrukturen der Gehäuse oder von Gehäuseteilen der Mikrospektrometer zusammengefügt werden.

Erfindungsgemäß werden folgende Schritte vorgeschlagen:

1. eine Folie wird auf die Spannscheibe einer Ultrapräzisionsdrehmaschine gespannt;
2. die Spannscheibe wird gedreht und in die Folie werden mit Mikroformdiamanten parallel zueinander verlaufende Gitterzacken eingearbeitet, so dass eine Gitterzackenstruktur vorgebbarer Breite und Tiefe entsteht;
3. anschließend wird die Folie mittels parallel zur Drehmaschinenachse verlaufender Schnitte in eine Vielzahl schmaler, biegbarer Folienstreifen zerlegt.
4. die biegbaren Folienstreifen in die gebogene Form des selbstreflektierenden Reflexionsgitters gebracht werden.