Mikrostrukturapparat mit optischer Oberflächengüte

Dipl.-Ing. Anurjew, Dipl.-Ing. Hansjosten, Dr. Brandner

Kurzbeschreibung

Mikrostrukturapparat, umfassend eine Mikrokavität. Die Aufgabe liegt darin, einen Mikrostrukturapparat mit mindestens einer individuell gestaltbaren Mikrokavität so zu gestalten, dass eine Beobachtung des Innenvolumens der Mikrokavität mit optischen und akustischen Mitteln begünstigt wird. Die Aufgabe wird dadurch gelöst, dass die an die Mikrokavität angrenzende Oberfläche eines Festkörpers mit einer optischer Oberflächengüte aufweist und die Mikrokavität von einer auf dem Festkörper nach dem Prinzip des Rapid-Prototyping mittels Stereolithographie oder mittels selektivem Laserschmelzverfahrens aufgebauten dreidimensionalen Struktur umgeben ist.